德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 ARF工作環(huán)境

MLase是紫外光醫(yī)療和工業(yè)產(chǎn)品供應(yīng)商。自2007成立以來(lái)，MLase一直致力于開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)創(chuàng)新型高質(zhì)量激光和光系統(tǒng)，這是高度專(zhuān)業(yè)化的專(zhuān)家團(tuán)隊(duì)多年經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。MLase AG 為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，同時(shí)考慮到新的技術(shù)。MLase AG的質(zhì)量管理符合ISO 13485:2016標(biāo)準(zhǔn)。

"ARF" 在激光技術(shù)中通常是指氬氟化物激光器，屬于準(zhǔn)分子激光器的一種。ArF 激光器使用氬氟化物（ArF）氣體作為激光介質(zhì)，通常在紫外光區(qū)域產(chǎn)生激光。

ArF 激光器的工作波長(zhǎng)通常在193納米附近，這個(gè)波長(zhǎng)范圍對(duì)于許多應(yīng)用非常重要。例如，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，ArF 激光器被廣泛應(yīng)用于光刻技術(shù)，用于將圖形圖案投影到半導(dǎo)體芯片上，以便進(jìn)行微影和制造。

設(shè)計(jì) ArF 準(zhǔn)分子激光器需要考慮到氬氟化物的化學(xué)特性以及紫外光的高能量特性。工作環(huán)境對(duì)于ArF激光器同樣也具有重要意義，通常需要保持在高度潔凈、低振動(dòng)、低溫度變化和低濕度的條件下。

ArF 準(zhǔn)分子激光器通常被用于需要高能量、高分辨率和微米級(jí)別的精確度的應(yīng)用領(lǐng)域，比如半導(dǎo)體制造、激光微加工、科學(xué)研究等。

Mlase MLI 500 ARF準(zhǔn)分子激光器

參數(shù)：ArF

波長(zhǎng)（納米）：193

最大。重復(fù)率 (Hz)：500

穩(wěn)定的脈沖能量(mJ)：6

穩(wěn)定的脈沖功率(W)：3,0

能量穩(wěn)定性 (sigma, %)：2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)：6x3

光束發(fā)散（FWHM，V x H mrad）：2x1

脈沖持續(xù)時(shí)間（FWHM）（ns）：5-10

型號(hào)示例：

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 ARF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 200 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 200 ARF

Mlase準(zhǔn)分子激光器MLI 1000 ARF

德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI 500 ARF工作環(huán)境